產(chǎn)品概述
該設備主要用于多晶硅前處理工序,在高溫真空環(huán)境下,對石墨電極、石墨基座、石墨卡瓣等進(jìn)行煅燒,使石墨部件經(jīng)酸洗、高溫烘干后仍殘余的水氣和氯化鹽等經(jīng)高溫真空煅燒后排出爐外,實(shí)現提供高純潔凈石墨部件的目的。
性能特點(diǎn)
1.裝出料方式:頂部裝出料、底部裝出料。
2.工作方式為周期作業(yè)式;可對石墨、陶瓷等材料在高溫、高真空條件下進(jìn)行煅燒處理,也可在充入保護氣氛情況下煅燒;設備發(fā)熱體采用高純石墨碳棒,保溫層采用復合型石墨碳氈,在使用過(guò)程中揮發(fā)量少,壽命長(cháng)、隔熱性好。
3.設備占地小,生產(chǎn)效率高,平均能耗低。
4.采用觸摸屏、PLC控制,配合儀表及傳感器可實(shí)現全自動(dòng)運行(保留手動(dòng)模式),可實(shí)時(shí)監控。
5.設有多重安全防護措施,通過(guò)溫度、壓力計、安全閥等裝置和連鎖保護程序,使設備具備在發(fā)生超溫、超壓、冷卻水欠壓、過(guò)流、短路等故障時(shí)能夠及時(shí)發(fā)出聲光報警,并自動(dòng)啟動(dòng)保護程序,保障設備和人員安全。
性能參數
型號 | VGBD-800 | VGBD-1000 |
額定溫度 | 1600℃ | 1600℃ |
*高溫度 | 2000℃ | 2000℃ |
控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ |
爐溫均勻性 | ±10℃ | ±10℃ |
工作區尺寸 | φ800×800 | φ1000×600 |
冷態(tài)真空度 | 6.67×10-3Pa | 6.67×10-3Pa |
壓升率 | 1Pa/h | 1Pa/h |
額定功率 | 400KW | 400KW |
電源 | 380V 50HZ | 380V 50HZ |
保護氣體 | 氬氣 | 氬氣 |
合作案例
售后與支持